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MEMS技術(shù)核心芯片級(jí)熱膜式微小流量檢測(cè)流量傳感器AFE-01

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名稱:MEMS技術(shù)核心芯片級(jí)熱膜式微小流量檢測(cè)流量傳感器AFE-01品牌:SSTAFE-01由四個(gè)鉑金薄膜電阻構(gòu)成。阻抗低,加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個(gè)高阻抗電阻,用來(lái)檢測(cè)流速和流向。還有一個(gè)電阻用來(lái)檢測(cè)氣體的溫度??拷訜嵩膬蓚€(gè)電阻連...

詳細(xì)介紹

MEMS技術(shù)核心芯片級(jí)熱膜式微小流量檢測(cè)流量傳感器AFE-01詳細(xì)介紹:

名稱:MEMS技術(shù)核心芯片級(jí)熱膜式微小流量檢測(cè)流量傳感器AFE-01

品牌:SST

AFE-01由四個(gè)鉑金薄膜電阻構(gòu)成。阻抗低,加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個(gè)高阻抗電阻,用來(lái)檢測(cè)流速和流向。還有一個(gè)電阻用來(lái)檢測(cè)氣體的溫度??拷訜嵩膬蓚€(gè)電阻連接成一個(gè)電橋。產(chǎn)生檢測(cè)流速和流向功能的一個(gè)輸出信號(hào)。沒(méi)有流量的情況下,這兩個(gè)電阻達(dá)到同樣的加熱狀態(tài)。當(dāng)有流量存在時(shí),其中一個(gè)電阻的溫度比另一個(gè)低很多,具體哪個(gè)電阻溫度變低由流向決定。溫度差可以測(cè)量得到,由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間非常短,因?yàn)樗臒豳|(zhì)量小。這種方式可以檢測(cè)到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動(dòng)速度,溫度傳感器可以與恒溫風(fēng)速儀相連接。

優(yōu)勢(shì)

1、流向檢測(cè)

2、檢測(cè)小質(zhì)量物體的流動(dòng)

3、簡(jiǎn)單的信號(hào)處理電路和標(biāo)定

4、固定的機(jī)械元件

5、優(yōu)異的重復(fù)性

6、優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

7、適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼

8、的性價(jià)比

應(yīng)用

1、差壓傳感器

2HVAC和樓宇控制方案

3、醫(yī)療設(shè)備

4、汽車行業(yè)

5、設(shè)備檢測(cè)

技術(shù)指標(biāo)

測(cè)量原理:熱量原理

檢測(cè)量程:0 ... 50 m/s (以CTA模式的電路為例)

靈敏度:0.001 m/s

 度:< 2%測(cè)量值(取決于電路和標(biāo)定)

響應(yīng)時(shí)間:T63% < 0.5 S

溫度范圍:-20…… +150 °C

電氣連接:絕緣漆包銅線 (一般長(zhǎng)度25 mm)

加熱元件:RH (25°C) = 34 ± 10%

檢測(cè)元件:Rs_i (25°C) = 425  ± 10%

參考元件:RR (25°C) = 710  ± 10%

供電電壓:一般為 …… 5 V(取決于氣體流速)

基片材料:低熱導(dǎo)陶瓷

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