GM50A質(zhì)量流量控制器MKS GM50A金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從5 sccm – 50 slm，精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。市場價： 0.00價格：0.00

詳細(xì)介紹

MKS GM50A金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從5 sccm – 50 slm，精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。

GM50A是一種金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器，GM50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。

技術(shù)參數(shù)：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，50000SCCM。

控制量程：2% to 99%的全量程。

測量精度：全量程的1%

靈敏度：全量程的0.1%

熱機時間：小于2Min.

響應(yīng)速度：小于2Sec.

輸入電壓：±15VDC@100ma

輸出電壓：0-5VDC

連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數(shù)字：RS485或Device net或Profibus

法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4"等

材質(zhì)：316不銹鋼。

例：型號GM50A013502R6M010(代表的是氣體介質(zhì)是氮氣，流量是500sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是金屬密封）

GM50A質(zhì)量流量控制器采購系列號GM50A

用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號）

氮氣，N2	013
氨氣，NH3	029
六氟化硫，SF6	110

流量范圍，SCCM滿量程（相當(dāng)于氮氣）

5	500
10	101
20	201
50	501
100	102
200	202
500	502
1000	103
2000	203
5000	503
10000	104
20000	204
30000	304
50000	504

裝配件（法蘭接口）

Swagelok 4VCR male	R
1/4 Swagelok	S

通訊接口

Profibus	4
RS485	5
DeviceNet	6
Analog 0 to 5 VDC（9針D型）	A
Analog 0 to 5VDC （15針D型）	B
Analog 4 to mA（15針D型）	H

密封材料

標(biāo)配：金屬	M

預(yù)留MKS的未來應(yīng)用

標(biāo)準(zhǔn)

固化軟件版本

除非另有說明，MKS會安裝訂貨日期的固化版本軟件

滿量程流量為3位數(shù)字顯示，前兩位表示量程流量的有效數(shù)字，由小數(shù)點分開；第三位表示10的指數(shù)

注：氣體可選，替代MKS 1479A質(zhì)量流量控制器

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