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GE50A質(zhì)量流量控制器

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GE50A質(zhì)量流量控制器MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從5sccm–50slm,精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度(GM51A除外)。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬(0-5V或4-20mA)和數(shù)字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通訊接口可選。市場(chǎng)價(jià): 0.00價(jià)格:0.00產(chǎn)品描述:: 替代1179A 型號(hào): GE50A ......

詳細(xì)介紹

MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從5sccm50slm,精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度(GM51A除外)。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬(0-5V4-20mA)和數(shù)字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通訊接口可選。


MKS GE50A通用橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器精度為設(shè)定值的± 1%,相應(yīng)速度快于500毫秒,不同氣體及量程間自由切換。通過(guò)一個(gè)*的數(shù)字算法,實(shí)現(xiàn)了精度的實(shí)時(shí)流量控制。與通常基于PID的數(shù)字MFC相比,它由于能實(shí)現(xiàn)工藝氣體流量的實(shí)時(shí)控制而極大提供了控制精度,具有更好的工藝腔室匹配性。

基于EtherNet 用戶通訊口網(wǎng)絡(luò)的游覽界面使客戶可以實(shí)時(shí)地進(jìn)行控制器的設(shè)置和故障排除,從而減少了對(duì)“"MFC的替換并且無(wú)需中斷工藝氣體輸送。

例:型號(hào)GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質(zhì)是氮?dú)?,流量?00sccm,配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male,通訊接口是DeviceNet,密封材料是Viton橡膠密封)

GE50A質(zhì)量流量控制器 采購(gòu)系列號(hào)GE50A

用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號(hào))


氮?dú)?,N2 013
氨氣,NH3 029
六氟化硫,SF6 110


流量范圍,SCCM滿量程(相當(dāng)于氮?dú)猓?/span>


5 500
10 101
20 201
50 501
100 102
200 202
500 502
1000 103
2000 203
5000 503
10000 104
20000 204
30000 304
50000 504


裝配件(法蘭接口)


Swagelok 4VCR male R
1/4 Swagelok S
C-Seal,(92mm port to port) C
W-Seal,(92mm port to port) H


通訊接口


Profibus 4
RS485 5
DeviceNet 6
Analog 0 to 5 VDC(9針D型) A
Analog 0 to 5VDC (15針D型) B
Analog 4 to mA(15針D型) H


密封材料


標(biāo)配:Viton V
選配:Neoprene N
選配:Buna-N B
選配:Kalrez K


預(yù)留MKS的未來(lái)應(yīng)用


標(biāo)準(zhǔn) 0



固化軟件版本


除非另有說(shuō)明,MKS會(huì)安裝訂貨日期的固化版本軟件 10




滿量程流量為3位數(shù)字顯示,前兩位表示量程流量的有效數(shù)字,由小數(shù)點(diǎn)分開(kāi);第三位表示10的指數(shù)

注:其他氣體可選,替代MKS 1179A質(zhì)量流量控制器



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