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深圳市萬德泉科技有限公司


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Stripe CDG045Dhs 高速電容式隔膜真空計

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產品簡介

詳細介紹

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000乇 / 毫巴, 新 10毫乇

INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是速、高度準確的真空儀器。響應時間不到 2
ms,配備 EtherCAT
現(xiàn)場總線接口,開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,而且具有的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附
INFICON 已獲的傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產品的影響。INFICON Stripe
使用創(chuàng)新的加熱概念,提供冰涼的接觸表面和的速度性能,可實現(xiàn)的生產力提升,使其成為同類產品中的真空儀器。


Stripe CDG045Dhs 贏得了 2014 研發(fā) 100
大獎!!






益處

  • 高生產力 - 響應時間快于 2ms
  • 靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場總線
  • 使用壽命長 - 經驗證的陶瓷傳感器
  • 忘記重新校準 - 90ppm/年穩(wěn)定性

典型應用

  • 原子層沉積
  • 高速過程控制
  • PVD、CVD、刻蝕
  • 一般高溫真空應用

零件號



規(guī)格

類型 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar 0.02 ... 0.01Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 -
精度 % of reading - 0.2
溫度效應
零點 percent FS/°C 0.0025 -
在零點 0.5 ... 0.05 乇/毫巴 percent FS/°C 0.005 -
在零點 0.02 ... 0.01 乇 percent FS/°C - 0.01
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01
壓強
P 1000乇/毫巴 kPa (absolute) 400 400
P 500 ... 1乇/毫巴 kPa (absolute) 260 260
P 0.5 ... 0.01乇/毫巴 kPa (absolute) 130 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003
讀數 percent FS 0.01 0.01
建議的讀數 percent FS 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5
溫度
運行(環(huán)境) °C +10 … +40 +10 … +40
在法蘭處烘烤 °C ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +85 –20 … +85
電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時 W ≤14 ≤14
運行溫度 W ≤9 ≤9
輸出信號(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10
反應時間 (2) ms 2
保護等級 IP 30 IP 30
標準
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) SEMI S2 SEMI S2
電氣連接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
設定點
設定點數量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點 V (dc)A (dc) ≤30 ≤30
滯后 percent FS 1 1
診斷端口
協(xié)議 USB USB
讀數 pressure, status, ID pressure, status, ID
設置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
內部容積
內部容積 1/2'' 管 cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 ISO KF cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 CF-R cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內部容積 8 VCR® cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT
協(xié)議 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通訊標準 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數字功能設置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過程數據 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) 非線性,遲滯,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復性,2 小時工作后無溫度影響。

(2) 提高 10 … 90 % FS


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