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超g分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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上海維翰光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品說明： 1.采用*異的成像技術(shù) SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號(hào)。新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子...

詳細(xì)介紹

1.采用*異的成像技術(shù) SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號(hào)。新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更*面的樣品信息。 2.采用多通道成像技術(shù) 隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000*多可同時(shí)顯示和保存

1.采用*異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號(hào)。新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更*面的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000*多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的*大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
1.大型樣品觀察；2.低真空觀察；3.超低溫觀察；4.實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都shi分完備，觀察方法也是yi應(yīng)俱quam。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，*大束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特s需求。
成像能力
追求信息*大化的檢測系統(tǒng)
隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對檢測系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更*效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更*面的信息收集。

同一條件觀察
樣品：包裹有機(jī)物的金屬棒

通過UD、MD、LD探測器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例（加速電壓：1 kV）

通過UD、MD、LD探測器可以同時(shí)采集信號(hào)，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的*大化。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)
優(yōu)化信號(hào)顯示功能
成像單元在信號(hào)顯示上也作了*新升級(jí)。用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場角和通道數(shù)。
單屏*多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。
導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。
使用雙屏顯示時(shí)，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個(gè)顯示屏專門用來顯示信號(hào)，*多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。
高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。

支持雙屏顯示
1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出
UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示，界面
布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。
可擴(kuò)展觀察和分析方法
樣品倉和馬達(dá)臺(tái)

樣品倉外觀標(biāo)配18個(gè)附件接口馬達(dá)臺(tái)外觀XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm

樣品倉可搭載*大直徑為φ 200 mm；*高80 mm的樣品。大開倉設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸*大移動(dòng)距離為135×100 mm，*重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*全不成問題。

支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測系統(tǒng)

SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器(**)。

低真空環(huán)境的探測器選擇

左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

PD-BSED：響應(yīng)速度提高

左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目			內(nèi)容
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.8 nm/15 kV
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.9 nm/1 kV
放大倍率			20～2,000,000 x
電子槍	發(fā)射體		ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）
	加速電壓		0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV）
	束流		*大200 nA
探測器	標(biāo)準(zhǔn)探測器		UD （上探測器)
			MD （中探測器）
			LD （下探測器)
	選配探測器*1		PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器）
	選配探測器*1		UVD（高靈敏度低真空探測器）
低真空模式*1	樣品倉壓力范圍		5～300 Pa
低真空模式*1	可使用探測器		PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái)	馬達(dá)臺(tái)控制		5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	移動(dòng)范圍	X	0～135 mm
		Y	0～100 mm
		Z（WD）	1.5～40 mm
		T（傾斜角）	-5～70°
		R（旋轉(zhuǎn)角）	360°
	樣品尺寸		大直徑：φ200 mm, 大高度：80 mm
顯示器*1			23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式	全屏顯示模式		1,280×960像素顯示
	單屏顯示模式		800×600像素顯示
	雙屏顯示模式		800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
	四屏顯示模式		640×480像素顯示
	六屏顯示模式*2		640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存	保存圖像尺寸		640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件			能譜儀（EDX）
			X射線波譜儀（WDX）
			電子背散射衍射（EBSD）
			陰極熒光探測器（CL)
			冷凍傳輸系統(tǒng)
			各種功能樣品臺(tái)