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行業(yè)產(chǎn)品

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上海添時科學儀器有限公司


噴膠機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SP200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2022-10-08 10:22:10瀏覽次數(shù)：241次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：789條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：范先生

產(chǎn)品簡介

噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)觸摸式人機交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控

詳細介紹

噴膠機

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

控溫范圍：50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉(zhuǎn)速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)


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