勻烤膠一體機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式觸摸式人機(jī)交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)可選配置空氣凈化單元（FFU）

詳細(xì)介紹

勻烤膠一體機(jī)

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，包裝印刷網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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