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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司


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滑動(dòng)式雙溫區(qū)，PECVD

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

包裝印刷網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2022-10-08 09:24:41瀏覽次數(shù)：403次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：789條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：范先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，80mm 0D1800mm L的滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

•兩個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200°c;

•可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)：

•溫度：1200°C（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

•兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

•輸入功率：208-240V，單相，功率：3KW；

•高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

•爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。

射頻電源：

 

image.png 

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

image.png 

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量：

設(shè)備總體尺寸：2200mmL 800mmW 1500mmH

凈重：610kg

注意：

采用氬氣高于射頻功率200W情況下，需特殊說(shuō)明：設(shè)備需要特殊改造幾測(cè)試，（有法蘭過(guò)熱情況）

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)



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