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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)VTC-100PA

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更新時(shí)間：2022-10-08 09:10:20瀏覽次數(shù)：368次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

詳細(xì)介紹

2涂布

真空旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

主要特點(diǎn)

•真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。

•使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

•根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單。

•設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。

•電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

•50W/24V 直流電機(jī)

•適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）

基

本

參

數(shù)

•電機(jī)功率：50W/24V

•速度范圍：500-10000rpm

•程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

•增減速率設(shè)置：100rpm/s-2000rpm/s

•時(shí)間范圍：0-60s

•吸盤：Φ19mm、Φ60mm

進(jìn)氣口：

上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

可選加熱部分：

上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽(yáng)能電池等研究。

產(chǎn)品尺寸：450mm×280mm×340mm；

重量：20kg

可選配件：過(guò)濾器（真空泵用）

保修期：一年保修，終身技術(shù)支持。

標(biāo)準(zhǔn)配件：

1 真空吸盤（含O型圈） 2個(gè)

2 中心定位器（含4個(gè)定位柱） 1個(gè)

3 滴膠注射器（20ml） 1個(gè)

4 注射器支架 1個(gè)

5 AP-1400V無(wú)油真空泵 1臺(tái)

6 橡膠管（含卡箍） 1根

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