產(chǎn)品特性：
采用高精度南非花崗巖底座和立柱，確保機(jī)臺(tái)擁有的高穩(wěn)定性和精確度；
采用高精密無牙光桿和快速移動(dòng)鎖緊裝置，確保工作臺(tái)回程誤差在2um以內(nèi)；
采用高精度儀器光學(xué)尺配合精密工作臺(tái)，確保機(jī)臺(tái)精度在≤2+L/200um以內(nèi)；
采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數(shù)字相機(jī)，確保畫質(zhì)清晰無畸變；
采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源，以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度；
接觸式探針和功能強(qiáng)大的iMeasuring3.1三維影像測(cè)量軟件，提升品質(zhì)管控到新的臺(tái)階；
可選FexQMS測(cè)量數(shù)據(jù)分析及和實(shí)時(shí)監(jiān)控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
 
主要技術(shù)參數(shù)：

儀器型號(hào)	iMS-2010P	iMS-2515P	iMS-3020P	iMS-4030P	iMS-5030P
儀器貨號(hào)#	521-140P	521-150P	521-160P	521-170P	521-180P
金屬工作臺(tái)	408x308mm	408x308mm	458x358mm	608x470mm	708x470mm
玻璃工作臺(tái)	306x198mm	306x198mm	356x248mm	456x348mm	556x348mm
X/Y軸行程	200x100mm	250x150mm	300x200mm	400x300mm	500x300mm
Z軸	高精度直線導(dǎo)軌，有效行程200mm
X/Y/Z軸分辨率	0.0005mm
X/Y軸精度	≤2+L/200(um)
重復(fù)精度	2um
底座和立柱	高精度花崗巖
照明系統(tǒng)（軟件調(diào)控）	表面4環(huán)8區(qū)無級(jí)可調(diào)LED冷光源，每區(qū)可獨(dú)立調(diào)控
	透射LED平行（面）光源
	LED鐳射導(dǎo)航指示燈
CCD	高分辨率700TVL彩色CCD
變焦物鏡	6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡
	光學(xué)放大倍率：0.7X~4.5X倍；視頻放大倍率：26X~172X
工作環(huán)境	溫度：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr
	濕度：30% ~80%RH
	震動(dòng)<0.002g，低于15Hz
測(cè)量軟件	iMeasuring 3.1
操作系統(tǒng)	支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系統(tǒng)
操作語言	英文、簡(jiǎn)體中文、繁體中文，可增加其他語言版本
外形尺寸(WxDxH)	790x617x1000mm	790x617x1000mm	838x667x1000mm	1002x817x1043mm	1002x867x1043mm
凈重	175Kg	175Kg	185Kg	350Kg	380Kg