機(jī)器視覺標(biāo)定圖案保證測量精度，采用光刻工藝，確保圖案邊界清晰、完整、銳利，識別度好。具備自動角點(diǎn)檢測功能，

無需復(fù)雜的點(diǎn)角點(diǎn)過程，圖案品質(zhì)黑白對比明顯，專用儀器，靶標(biāo)單元格逐格校準(zhǔn)，覆蓋式角點(diǎn)逐格校準(zhǔn)技術(shù)。