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超高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會(huì)社2008年下半年推出的兼顧冷場(chǎng)的高分辨率和熱場(chǎng)大束流為一體的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù)，200nA的大電流在保證高分辨率的同時(shí)，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率，對(duì)導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動(dòng)化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款高檔次的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。

超高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點(diǎn)
1.主動(dòng)式減震器
2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無(wú)需UPS保護(hù)
3.標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)
4.全自動(dòng)樣品更換氣鎖
5.全自動(dòng)樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動(dòng)物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
9.能量過(guò)濾器標(biāo)準(zhǔn)配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）

高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術(shù)參數(shù)

SEI 分辨率

1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV）

放大倍數(shù)

25 到 1,000,000x

加速電壓

0.1 到 30 kV

束流

1 pA 到 200 nA（15 kV時(shí)）

光闌角控制鏡

內(nèi)置

探測(cè)器

上方和下方探測(cè)器

能量過(guò)濾器

新 γ過(guò)濾器

柔和光束

內(nèi)置

數(shù)字圖像

1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840

樣品交換室

單步加載/卸載

樣品臺(tái)

全對(duì)中，5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

類型	IA	II	III
X-Y	70 mm x 50 mm	110 mm x 80 mm	140 mm x 80 mm
傾斜	-5 到 +70°	-5 到 +70°	-5 到 +70°
旋轉(zhuǎn)	360°	360°	360°
工作距離	1.5 mm 到25 mm	1.5 mm 到 25 mm	1.5 mm 到 25 mm