低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵發(fā)生故障的話，就需要及時有效的解決，那么一般來說，故障怎么解決好呢？

水泵故障原因分析：

水泵交流接觸器上的過載保護器動作。

水泵電容器燒壞(單相)。

水泵本身問題，如：線圈燒壞、軸承壞死等。

水泵故障的排除方法：

輕按過流保護器中RESET復(fù)位鍵即可。

更換電容器。

更換水泵(更換水泵時應(yīng)注意水泵的轉(zhuǎn)向)。

注意事項：

低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)和工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)排除以上故障前都應(yīng)先檢查各電源連接線路是否有斷開、破損、短路等，避免在維修時帶來不必要的麻煩。

當(dāng)機器出現(xiàn)故障時，應(yīng)請專業(yè)人員進行機器檢查維修，嚴(yán)禁在機器處理故障時將機器強行起動。

工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)起動、運轉(zhuǎn)

按調(diào)度指令打開切換井的進出水閘門，關(guān)閉其他各閘門。

水泵啟動前，應(yīng)向填料函上的接管，引注清水潤滑橡膠軸承，待泵出水后即可關(guān)小，有水滴出為宜，檢查泵軸承位的油位，確保各處水、油路暢通。

水泵啟動前檢查各連接部位應(yīng)無松動，用手轉(zhuǎn)動聯(lián)軸器，看是否靈活，泵內(nèi)是否有響聲。

低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵啟動時，機旁不得站人，啟動后應(yīng)至少守機五分鐘檢查設(shè)備情況，如有不正常的振動和聲音或出水情況有異常應(yīng)立鄖停機檢查，不允許投入運行后隨即離開機泵。