FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)：
  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
  - 感器的高精度計(jì)量
  - 在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應(yīng)時間快

技術(shù)參數(shù)：