FS4000微型氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

FS4000系列氣體流量計是采用微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

 FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍*到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍*到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

產(chǎn)品特點:

   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用

    - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

    - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高

    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

    - 零點穩(wěn)定度高

    - 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復性

    - 低功耗、低壓損

    - 響應速度快