FS4000微型氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

FS4000系列氣體流量計(jì)是采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

 FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍*到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍*到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè)，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等

產(chǎn)品特點(diǎn):

   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)

  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用

    - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量

    - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

    - 零點(diǎn)穩(wěn)定度高

    - 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性

    - 低功耗、低壓損

    - 響應(yīng)速度快