瑞豐恒納秒紫外激光器是微電子加工的戰(zhàn)斗機(jī)

紫外激光器為廣泛的工業(yè)制造提供動(dòng)力，特別是在微電子和顯示器制造中。這是因?yàn)樽贤夤饩哂?的特性，能夠以更高的精度和更少的熱損傷對零件進(jìn)行微加工和其他結(jié)構(gòu)化調(diào)整。

紫外激光器可以做到這一點(diǎn)的三大原因。首先，幾乎所有東西——塑料、有機(jī)材料、金屬和半導(dǎo)體——都強(qiáng)烈吸收紫外線。因此，激光能量有效地處理了材料，而不僅僅是直接穿過它。這也使得紫外激光器特別擅長加工越來越多地用于微電子和其他行業(yè)的復(fù)合材料和多層材料。

其次，高吸收還意味著紫外激光不會(huì)深入到材料中，從而有效地減小了所謂的“熱影響區(qū)"的尺寸。圍繞激光產(chǎn)生的特征（切割、孔等）的區(qū)域，可能會(huì)被激光損壞或改變其特性。

第三，紫外光可以比更長波長的可見光或紅外 (IR) 光更好地聚焦。這意味著紫外激光器可以制造更小的孔或更窄的切口。

納秒激光擊中“甜蜜點(diǎn)"

納秒脈沖寬度、二極管泵浦、固態(tài)激光器是的工業(yè)紫外光源，因?yàn)樗鼈兇砹舜蠖鄶?shù)制造商的“位置"。它們在經(jīng)濟(jì)上具有吸引力（以每瓦美元計(jì)），通常以相對較高的脈沖重復(fù)率運(yùn)行，并且還具有相當(dāng)高的輸出功率。這提供了具有成本效益的高通量生產(chǎn)。

但制造商一直在尋求進(jìn)一步改進(jìn)其工藝并降低成本。就激光源而言，這通常意味著更高的輸出功率，因?yàn)檫@通?？梢蕴岣吖に嚠a(chǎn)量。

用固態(tài)紫外激光器做到這一點(diǎn)只有一個(gè)小問題。（實(shí)際上，有很多，但我們只在這里討論其中一個(gè)?。┻@是因?yàn)楣虘B(tài)激光器會(huì)發(fā)射紅外 (IR) 光。因此，激光器內(nèi)部使用三次諧波產(chǎn)生 (THG) 晶體將紅外光轉(zhuǎn)換為紫外光。

但是，還記得大多數(shù)材料如何很好地吸收紫外線嗎？這意味著很難避免在 THG 晶體中至少吸收一些激光能量。而且，由于它位于激光器內(nèi)部，因此 THG 晶體會(huì)暴露在大量紫外線下。

這個(gè)問題的一個(gè)解決方案是在激光器中建立一種機(jī)制，周期性地物理移動(dòng) THG 晶體。這個(gè)想法是在激光束在任何特定位置發(fā)生災(zāi)難性故障之前不斷改變激光束在晶體中的聚焦位置。

這種方法效果很好。但顯然，它增加了激光器的成本和復(fù)雜性。此外，每次晶體移動(dòng)到新位置時(shí)，輸出功率和其他光束參數(shù)都會(huì)發(fā)生細(xì)微變化，這些變化會(huì)影響工藝并因此影響零件質(zhì)量。

另一種方法是*忽略這個(gè)問題，并將 THG 晶體保持在一個(gè)點(diǎn)上，直到激光消失。這使得激光頭更便宜，只要您不介意激光可靠性低、輸出一致性差或壽命短（<3000 小時(shí)），這是一個(gè)好主意。