您需要真空產(chǎn)品嗎？東莞市普諾克真空科技有限公司為您提供全系列真空泵產(chǎn)品及定制化的普諾克真空系統(tǒng)解決方法。普諾克公司已為比亞迪、富士康集團、格力電器、無窮食品、美贊臣等企業(yè)提供真空設備。

真空系統(tǒng)的系統(tǒng)附加配件：

1.細菌過濾器

2.附加消音

3.真空開關(guān)

4.真空表

5.可遙控操作

?的產(chǎn)品特性：

1.真空度高、性能穩(wěn)定、壽命長

2.流量：4-1300m3/hr（單臺泵）

3.真空使用范圍：0.5-500mbar（壓力）

4.無需接入水源

5.結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積少

6.操作簡單維護方便，噪音少

7.可實現(xiàn)多臺機組PLC聯(lián)控

8.可連接GDMS系統(tǒng)

9.符合歐洲CE EN737-3標準

降低?漏氣率的措施：

1.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)

真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

（1）盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

（2）抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。

（3）認真設計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。

（4）打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。

（5）盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。

2.密封形式的選擇

密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。

密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度zui高可達2300℃，密封部位進行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。

用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。

3.靜密封結(jié)構(gòu)的選擇

各種真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結(jié)構(gòu)進行認真設計，以達到理想的效果。

對靜密封結(jié)構(gòu)的設計，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。

無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側(cè)面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設計了貫通孔，使系統(tǒng)內(nèi)部各處暢通無阻。