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干式機械真空泵的應(yīng)用與相關(guān)性能比較干式機械真空泵的應(yīng)用與相關(guān)性能比較

首先來講，我們其實也就是要注意就干式機械真空泵其實也就是會應(yīng)用在了低壓化學(xué)氣相沉積當中的多晶硅制備工藝；再者，就干式機械真空泵其實也就是會應(yīng)用了半導(dǎo)體刻蝕工藝。處于這些生產(chǎn)工藝當中，這時候，其實也就是會用到或者是生成腐蝕性氣體與相關(guān)的研磨微粒。

再者，就干式機械真空泵的應(yīng)用來講的話，除了半導(dǎo)體工藝之外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氲奖糜彤斨?，且希望微粒排出泵之外會用到此設(shè)備；就其處于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)或者是食品工業(yè)當中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等，要注意去防止有機溶劑所造成污染，適合用干式真空泵。

緊接著，也就是要注意應(yīng)該是要做一般無油清潔真空系統(tǒng)上的前級泵，這時候也就是能防止油出現(xiàn)污染。

再者，我們其實也就是要注意一下，就不同的真空泵性能比較，首先也就是要注意去觀察一下其真空度，就干式螺桿真空泵、爪式真空泵以及其無油渦旋真空泵極限真空度都比較高，高極限真空也就是會達到1-2Pa；緊接著，我們其實也就是要注意就其無油往復(fù)真空泵也就是粗真空設(shè)備，極限真空度比較低，需要進行搭配羅茨真空泵來進行提高其極限真空。

就無油渦旋真空泵來講，因為其內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題，抽氣量比較小，只適用于小抽氣量的工藝當中；干式螺桿真空泵型號上比較齊全，這時候，也就是會比較適用大抽氣量工藝當中，接下來我們要注意就其本身也就是會配合羅茨真空泵能在很大的程度上也就是能滿足不同種類的客戶的需求。

干式真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。