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無油螺桿真空泵是利用一對螺桿，在主機腔體中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在腔體中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此真空泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，無油螺桿真空泵能抽除含有水蒸汽及粉塵等固體顆粒的氣體場合，極限真空高，消耗功率更低，具有節(jié)能、維修便捷等優(yōu)點。
目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，大量的有油真空系統(tǒng)已被清潔無油的真空系統(tǒng)所代替。各品牌真空設備廠家都已研發(fā)出各種不同型式的無油真空泵產品。
無油螺桿真空泵是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應用，并逐漸經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)*真空獲得設備。日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的引入生產，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應用。但到目前為止，螺桿真空泵的市場仍舊為國外品牌所占據。
無油螺桿真空泵的應用是廣泛的，如：
1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
2、半導體刻蝕、CVD、PVD工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外。
4、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用無油真空泵。
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
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