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日本利用全印刷技術(shù)制成有機(jī)TFT陣列
2014-07-02 09:22:47日經(jīng)技術(shù)在線閱讀量:2043 我要評(píng)論
在近期舉行的學(xué)會(huì)“SID2014”上,日本新一代印刷電子技術(shù)研究聯(lián)盟(JAPERA)宣布利用已實(shí)現(xiàn)工藝自動(dòng)化的印刷技術(shù)、在A4尺寸樹脂片材上形成了有機(jī)TFT陣列。
這次發(fā)布的TFT陣列設(shè)想用作柔性顯示器或壓力感應(yīng)板等的底板。片材為A4尺寸,TFT的間距為300μm,精細(xì)度為85ppi,有機(jī)TFT的總數(shù)為48萬個(gè)。其中的柵極、絕緣層、源極、漏極、有機(jī)半導(dǎo)體層、通孔及信號(hào)線等,全部都是利用自動(dòng)化片對(duì)片(S2S)印刷技術(shù)在樹脂片材上形成的。布線是利用由銀納米顆粒構(gòu)成的墨水等形成的。高工藝溫度為180℃。
柵極線和信號(hào)線的線寬為20μm。有機(jī)TFT的通道長度為10μm,通道寬度為160μm。有機(jī)TFT的載流子遷移率平均值稍低,為0.1cm2/Vs,但電流導(dǎo)通/截止比高達(dá)106。通態(tài)電流為1μA,偏差在10%以下
據(jù)悉,該技術(shù)可使量產(chǎn)時(shí)的初期成本大幅降低,易于少量多品種生產(chǎn)。
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