1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
顯影機(jī)(WH-XY-01)是汶顥股份自主開(kāi)發(fā)的具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品, 針對(duì)光刻工藝中的顯影過(guò)程而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的,可以對(duì) 7 英寸以下規(guī)格的硅片進(jìn)行程控式自動(dòng)化顯影。該設(shè)備可替代微流控芯片制作過(guò)程中的手動(dòng)顯影環(huán)節(jié),克服了手動(dòng)顯影過(guò)程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時(shí)間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控,上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問(wèn)題以及硅片的損壞。
顯影機(jī)(WH-XY-01)詳細(xì)說(shuō)明書下載
顯影機(jī)主要特點(diǎn)如下:
1)顯影池?fù)u晃震蕩頻率可設(shè)定,保證顯影液與硅片等接觸充分,提高顯影效果與質(zhì)量;
2)可根據(jù)顯影的載體進(jìn)行精確設(shè)定顯影托盤升降位置,從而確定顯影液的進(jìn)入添加量,避免顯影液的浪費(fèi);
3)顯影液可以自動(dòng)添加與排放,靈活更換;
4)友好的人機(jī)界面設(shè)計(jì),保證操作人員的使用體驗(yàn)與安全;
5)便攜性好,方便在實(shí)驗(yàn)室移動(dòng);
6)腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。
2. 技術(shù)參數(shù)
震蕩方向:順時(shí)針/逆時(shí)針 ;
轉(zhuǎn)速:10~300RPM ;
液量控制:50~500mL ;
適配硅片/芯片:≤7 寸 ;
顯影時(shí)間:0~999s ;
進(jìn)液速度:0~99% ;
電源輸入:AC220V±10V/50HZ ;
功率:150W ;
重量:14 kg ;
外形尺寸:375(W)* 380(D)* 300(H)mm ;
工作環(huán)境:溫度 0℃-40 ℃,相對(duì)濕度<80 %。
3. 特征圖解
備注:如需了解產(chǎn)品價(jià)格及其他技術(shù)內(nèi)容可咨詢我司客服。
標(biāo)簽:   顯影