產(chǎn)品簡(jiǎn)介
噴淋式顯影機(jī)(WH-PXY-01)是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品,針對(duì)光刻工藝中的顯影過(guò)程而設(shè)計(jì)開發(fā)的,可以對(duì)5英寸以下規(guī)格的硅片進(jìn)行程控式自動(dòng)化顯影。該設(shè)備可替代微流控芯片制作過(guò)程中的手動(dòng)顯影環(huán)節(jié),克服了手動(dòng)顯影過(guò)程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時(shí)間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控,上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問(wèn)題以及硅片的損壞。
技術(shù)參數(shù)
2轉(zhuǎn)速:0~400RPM;
2液量控制:10~500mL;
2適配硅片/芯片:3寸、4寸、5寸;
2顯影時(shí)間:0~900s;
2進(jìn)液速度:0~99%;
2電源輸入:AC220V±10V/50HZ;
2功率:100W;
2重量:20 kg;
2外形尺寸:410(W)* 410(D)* 350(H)mm;
2工作環(huán)境:溫度0℃-40 ℃,相對(duì)濕度<80 %;
特征圖解
特征圖解1
特征圖解2
備注:如需了解產(chǎn)品價(jià)格及其他技術(shù)內(nèi)容可咨詢我司客服!